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? ? ? ?微差壓變送器采用熱式測量原理，適用于測量空氣和非侵蝕性氣體的壓力，具有極高的精度和無偏移漂移。傳感器的壓力范圍±500 Pa（±2英寸H20/±5mbar）具有卓越的精度，分辨率為0.1Pa，整體尺寸為29mmx18mmx26.5mm。SDP810具有模擬電壓輸出和數字輸出，基于盛思銳的CMOSens?傳感器技術，在一個小型CMOS芯片上結合了傳感器元件、信號處理、數字校準和模擬輸出。
? ? ? ?微差壓變送器片上集成，將可控加熱器置于懸膜中心，將溫度傳感器沿液體流動方向對稱安裝在加熱元件上下游兩端。氣體流過薄膜導致熱量傳遞至下游溫度傳感器，產生溫差從而形成可測量的信號。采用深硅蝕刻方式將從背部刻蝕硅芯片從而形成絕熱腔體。
? ? ? ?微差壓變送器的芯片MEMS部分，其信號可以補償可能出現的任何溫度影響，而無需額外安裝校正傳感器。因此，CMOSens?技術解決方案既節省空間又具有成本效益。此外，數字芯片上還集成一個數字處理電路和一個存儲單元用于存儲校正數據。所有盛思銳傳感器均在生產過程中單獨進行校準，以確保信號始終經完全校準、線性化和溫度補償。
? ? ? ?傳統的壓阻式差壓傳感器通常測量量程偏高，且測試時波動干擾較大，無法測量微小壓差變化。在對微小管道氣流壓力差測量的場景時，需要使用熱式差壓傳感器。殼體內有氣道，氣道兩端為進氣道和出氣道，其中包括2個沿著氣道順次排列的熱敏電阻核心單元，測量原理是將2個熱敏電阻之間的溫度差值轉化為氣壓信息輸出。傳感原件還包括惠斯通電橋，用于檢測兩個熱敏電阻的電壓輸出差壓信號。以上就是微差壓變送器測量原理。
